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半导体洁净车间的通风风管,是制程废气输送、空气循环置换的核心配套设施,直接关联车间生产环境状态。风管在长期运行中,内壁持续接触工艺酸碱废气、有机挥发介质及盐雾气体,普通金属管道极易产生氧化、锈蚀问题。管壁锈蚀产生的颗粒物与剥落杂质,会随气流散布在洁净车间内,造成环境污染,同时管道腐蚀会引发壁面破损、废气渗漏等情况,增加管道维护、更换的频次,产生额外的运维消耗。 ETFE涂层是适配半导体洁净工况的专用防腐涂层材料,化学惰性表现稳定,可长期抵御各类酸碱气体、有机溶剂的侵蚀,抗渗透性能可以阻隔介质对管道基材的持续损伤。涂层固化成型后结构致密,表面光滑低粘,不易吸附粉尘与悬浮微粒,能够减少风道内部积尘堆积,减少管道清洁作业次数,适配半导体车间长期不间断运行的使用场景。涂层耐温耐候性能稳定,在车间常规温变环境中,结构与状态不会发生变化。 半导体风管完成ETFE喷涂施工后,管壁可形成完整连续的防护
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